評(píng)定參數(shù)

Ra, Ry, Rz, Rq, Pc, R3z, mr, Rt, Rp, Rv, Sm, S, δc, Rk, Rpk, Rvk,

Mr1,Mr2, A1, A2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, Δa, Δq, Ku, HSC, mrd, Sk, W,

AW, Wte, , Vo

分析圖表

支撐曲線 (BAC1/2), 振幅分布曲線(ADC)

數(shù)字濾波

2CR、 PC75 ,高斯

截止波長(zhǎng)

0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm

取樣數(shù)

X1, X3, X5, XL

任意長(zhǎng)度（XL）

0.1 -25mm  、0.1mm增量

取樣長(zhǎng)度（L）

0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm

打印機(jī)

熱敏打印機(jī)

打印寬度

48mm (紙寬 58mm)

記錄放大倍率

垂直：20X-100,000X自動(dòng)、水平：1X-1,000X自動(dòng)

技術(shù)參數(shù)：

X軸（驅(qū)動(dòng)部）

測(cè)量范圍

25mm

測(cè)量速度

0.05, 0.1, 0.5, 1.0mm/s

返回速度

0.5, 1.0, 2.0 mm/s

移動(dòng)方向

向后

直線度

0.3um/25mm

定位

±1.5?（傾角），10mm（向上/向下）

檢測(cè)器

范圍/分辨率

800um/0.01um，80um/0.001um ，8um/0.0001um(使用測(cè)頭選件時(shí)，大)

可大2400um)

檢測(cè)方法

無(wú)軌/有軌測(cè)量

測(cè)力

0.75mN

測(cè)針針尖

金剛石(60°/ 2 umR)

導(dǎo)頭曲率半徑

40mm

檢測(cè)方法

差動(dòng)電感式

顯示

LCD液晶顯示

數(shù)據(jù)輸出

RS-232C端口/SPC輸出

電源

通過(guò)AC適配器/可充電鎳氫電池